绍兴客制化氦质谱检漏仪售后服务 上海睿德励柯仪器仪表供应

氦质谱检漏仪是180°磁偏转型的质谱分析计，其基本原理是根据离子在磁场中运动时，不同质荷比的离子具有不同的偏转半径来实现不同种类离子的分离。检漏仪主要由质谱室、真空系统及电气控制部分组成。检漏工作时先打开抽空阀前级泵对检漏接口抽真空，当真空度P1优于200Pa时，打开入口阀1、2，关闭抽空阀，氦气将逆着分子泵的抽气方向进入质谱室中被检测出来，此时检漏仪的可检漏率为10-10Pa·m3/s。前级泵继续对检漏接口抽真空，当P1降至20Pa时，入口阀2关闭，入口阀3打开，分子泵的高抽速用于抽空试件，检漏仪的反应时间缩短，此时检漏仪的可检漏率为10-12Pa·m3/s。氦质谱检漏仪的电流相同，漏率可能不同；或漏率不同，电流相同。绍兴客制化氦质谱检漏仪售后服务

氦检仪常用的几种检漏方法有：氦质谱检漏方法较多，根据被检工件的测量目的可分为两种类型，一种是漏点型，另一种是漏率型；在实际检验过程中，应根据检验目的选择较合理的方法，并根据被检件的具体情况灵活运用各种检漏方法。测定漏点型氦质谱检漏方法。确定漏点型既是确定要检部件的具体漏点或漏孔的位置,在大部件或大型部件中较为常见,如卫星、导弹弹体、弹头、输气管道、气罐、油罐、锅炉等。喷氦法氦质谱检漏方法。喷氦法又叫喷吹法，较常用、较方便的检漏方法。一般用于检测体积相对较小的部件,将被检器件和仪器连通,在抽好真空后,在被检器件可能存在漏孔的地方(如密封接头,焊缝等)用喷头喷氦。安徽模块式氦质谱检漏仪原理高灵敏度氦检仪的噪声来源大体上可以分为两种，一个是离子流接收放大机输出电路的噪声，另一个是本底噪声。

氦质谱检漏仪的优点体现在以下几个方面：（1）便携式：很多小型便携式检漏仪不但灵敏度高，而且便于携带，给野外作业和高空作业提供了比较大的方便。（2）高压强下检漏：检漏口压强可高达数百帕左右，对检测大系统和有大漏的工件很有益。（3）自动化程度高：自动校准氦峰，自动调节零点，量程自动转换，自动数据处理，可外接打印机。整机由微机控制，菜单选择功能，一个按钮即可完成一次的全检漏过程。（4）全无油的干式检漏：有些国家生产的检漏仪，可采用干式泵，达到无油蒸气的效果，为无油系统及芯片等半导体器件的检漏，提供了有利条件。

选择氦质谱检漏仪时主要考虑以下问题：1、仪器的功能能满足检漏的要求。如有些仪器没有逆流检漏功能，就不适合检漏；有些仪器没有报废漏率的设置功能，不宜作为批量产品筛选检漏用；流水线上要求一定的检漏速度，此时应选择有双工位的检漏仪。2、仪器的灵敏度能满足检漏的要求。国内外生产的不同类型的氦质谱检漏仪的灵敏度是不一样的，如果检漏要求的灵敏度较高，就要认真选择。3、被检件如果害怕油的污染，就应选择无油真空系统的检漏仪。4、被检件容积如果较大，必须选用抽泵抽速大的检漏仪，否则就要外加预抽泵。氦检仪的示踪气体也可以是其他元素，但通常选用氦气。

氦检仪应用于调节阀气路管道检漏：调节阀又名控制阀，在现代化工厂的自动控制中，调节阀起着十分重要的作用，如果调节阀有漏，将会严重影响设备运行，进而降低整体的生产效率。氦检仪成功应用于调节阀中的气路管道检漏,经过检漏后的调节阀普遍应用于电厂、生物制药、化工等行业。调节阀检漏，阀门气密性测试方案是向阀门内充入设定压力的氦气，如在被检测处如阀杆等，用氦检仪正压法检测，正压法检测的精度可充分满足气密性检测要求。氦检仪用于调节阀的气路管道进行检漏,检漏标准是漏率小于100ppm或者10-4至10-6Pa.m3/s.同时需要提供快速,清洁的检漏环境.采用氦检仪正压法模式,即在密封的气体管路中充入一定量的氦气,然后进行检漏.氦检仪同时拥有两种检漏模式真空模式及正压模式，可根据客户不同需求，选择不同的检漏方法。氦质谱检漏仪的维护方法及常见故障的处理要求是什么？嘉兴移动式氦质谱检漏仪哪家好

氦检仪现已普遍应用于半导体设备检漏。绍兴客制化氦质谱检漏仪售后服务

选择氦质谱检漏仪检漏方法的原则：1、主要根据被检漏设备的允许漏率为依据，由于一个设备的允许漏率是很多漏孔漏率的综合体现。为找到一个单个漏孔，所选择检漏方法的检漏灵敏度就要高于允许漏率1-2个数量级。如一个设备的允许漏率为10-11w，而必须选用的氦质谱检漏仪灵敏度为10-12∽10-13W。2、根据具体被检对象，所用方法简便易行，经济实用。为保证测试漏率真实有效：（1）标准漏孔每年送有专业资质计量单位计量；（2）使用两年以上建议更换标准漏孔。绍兴客制化氦质谱检漏仪售后服务