氦检仪现已普遍应用于半导体设备检漏。半导体设备及材料需要检漏原因：1、半导体设备要求高真空，比如磁控溅射台、电子束蒸发台、ICP、PECVD等设备。出现泄漏就会导致高真空达不到或需要大量的时间，耗时耗力；2、在高真空环境洁净度高、水蒸气很少。一旦出现泄漏周围环境中的灰尘和悬浮颗粒或尘埃就会对晶元造成污染，对半导体的特性改变并破坏其性能，因此在半导体器件生产过程中必须进行氦质谱检漏；3、一些半导体设备要用到有毒或有腐蚀性的特殊气体，经过氦质谱检漏后，在低漏率真空条件下，这些气体不易外泄，设备能及时抽走未反应气体和气态反应产物，保障工作人员安全和大气环境。4、芯片封装，一旦出现泄漏，芯片就会失效。综上所述，氦检仪在半导体行业起着至关重要的作用。氦质谱检漏仪用氦气或者氢气作示漏气体，以气体分析仪检测氦气而进行检漏的质谱仪。温州无损氦质谱检漏仪
选择氦检仪时主要考虑以下问题：（1）仪器的功能能满足检漏的要求。如有些仪器没有逆流检漏功能，就不适合正压法检漏；有些仪器没有报废漏率的设置功能，不宜作为批量产品筛选检漏用；流水线上要求一定的检漏速度，此时应选择有多工位的氦检仪。（2）仪器的灵敏度能满足检漏的要求。国内外生产的不同类型的氦检仪的灵敏度是不一样的，如果检漏要求的灵敏度较高，就要认真选择。（3）被检件如果害怕油的污染，就应选择无油真空系统的氦检仪。（4）被检件容积如果较大，必须选用预抽泵抽速大的氦检仪，否则就要外加预抽泵。（5）如果被检对象不固定，体积时大时小，灵敏度要求时高时低，就要选择功能较全、灵敏度较高、检漏范围宽的氦检仪。（6）如果检漏地点不固定，需要经常搬运仪器时，就要选择小型便携式仪器。（7）在满足上述检漏基本要求的基础上，还要综合考虑仪器的价格是否低、操作是否简易、维修是否方便等方面的问题。温州无损氦质谱检漏仪氦检仪选择无毒、无破坏性、质量轻的惰性气体氦作为探索气体，所以安全可靠。
氦检仪灵敏度降低应该如何维护？当发现氦检仪的灵敏度降低，而氦检仪的工作真空度状态良好，放大器的各级工作电压也符合标准要求，就基本上可以确定氦检仪灵敏度降低的问题来源于离子源的质谱分析管受到了严重污染。这个时候，就需要将氦检仪的离子源分析管道拆下来进行彻底的清洗。具体的清洗方法如下：先用细的高标号金相砂纸小心细致地擦洗分析管道的内表面及离子源各电极部件，这里不能用粗砂纸，因为粗砂纸容易损伤真空分析管道及离子源的各电极部件；然后用航空汽油和无水乙醇清洗，并用去离子水冲洗干净；较后用烘箱或电吹风进行干燥。整个清洗过程中需要注意，分析管道上的磁铁不能撞击、不能受热，否则可能导致磁铁退磁，使氦检仪的灵敏度降低。如果操作正确，经过清洗维护后的氦检仪的灵敏度可比清洗前提高2～3倍。
氦质谱检漏仪灵敏度降低怎么维护？当发现检漏仪的灵敏度降低，而检漏仪的工作真空度状态良好，放大器的各级工作电压也符合标准要求，就基本上可以确定检漏仪灵敏度降低的问题来源于离子源的质谱分析管受到了严重污染。这个时候，就需要将检漏仪的离子源分析管道拆下来进行彻底的清洗。具体的清洗方法如下：先用高标号金相砂纸小心细致地擦洗分析管道的内表面及离子源各电极部件，不能用粗砂纸，因为粗砂纸容易损伤真空分析管道及离子源的各电极部件；然后用航空汽油或无水乙醇清洗，并用去离子水冲洗干净；然后用烘箱或电吹风进行干燥。如果操作正确，经过清洗维护后的氦质谱检漏仪的灵敏度可比清洗前提高2～3倍。氦检仪内部配有一台旋片式真空泵,用以维持仪器内部的高真空。
便携式氦质谱检漏仪的明显优点：1、性价比高：便携式氦质谱检漏仪是一款实用的检漏仪，可覆盖广大的应用领域，竞争性的价格及较低的使用成本，大抽速前级泵的设计，可缩短抽气时间，提高使用效率；2、自我保护功能：在突然暴露大气和突然断电时具有保护功能，系统的逆扩散设计保护了质谱室的清洁、真空，且不需要液氮；3、结构灵活：可采用主机与前级泵单独采买，前级泵可使用油封式旋片泵或涡卷式干泵，对于便携式氦质谱检漏仪，既可选择带有连接配件的主机形式，也可选择安装在两轮小车上的整体形式。氦质谱检漏仪应用领域：学校科研单位、真空制造、真空镀膜、航空航天等。苏州台式氦质谱检漏仪品牌
利用氦质谱检漏仪的真空规可以测定仪器的极限真空和工作真空。温州无损氦质谱检漏仪
氦质谱检漏仪的注意事项：1.设备应在施工工作完成后进行本测试，测试完成后不得进行焊缝的修磨等。2.若设备被浸湿或有残余的液体都会影响毛细管的泄漏而影响测试结果的真实性。3.因氦比空气轻，因此要注意检漏的顺序，检查顺序应依照由下而上，由近而远的顺序进行。4.检漏过程中，如发现大量氦气进人质谱检漏仪，应立即移去吸口，防止因仪器长时间消除不掉氦影响而延误测试。氦质谱检漏仪应用领域：学校科研单位、真空制造、真空镀膜、航空航天、核工业、电力、电子元器件、汽车及制冷、低温容器、阀门、仪器仪表、聚酯等行业。温州无损氦质谱检漏仪
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